MEMS加速度计用于需要测量线性运动的地方，无论是运动、冲击还是振动，但没有固定的参考点。它们测量的是它们附着的任何物体的线性加速度。加速度的测量单位是m/s-2，但加速度计的惯例是g，或重力的单位，1g等于9.81m/s-2。

所有加速度计工作原理的质量在一个春天,当他们在加速然后想保持静止质量由于惯性,因此弹簧拉伸或压缩,创建一个力检测和对应于应用加速度。